上海工研院在非制冷红外探测器技术领域取得突破

近年来，随着集成电路和微机电系统（MEMS）技术的快速发展，非制冷红外焦平面阵列探测器技术逐渐成熟，系列产品已实现大规模量产。上海工研院专注于超越摩尔集成电路核心工艺的研发，自2018年起布局非制冷红外探测器技术。通过多年的技术研究和攻关，成功建立了由标准模块工艺组成的红外传感器成套工艺平台。目前，上海工研院已为多家重要客户提供非制冷红外探测器通用工艺和定制化工艺服务，包括非晶硅和氧化钒（VOx）技术路线，多款产品已进入量产阶段，性能表现优异。在产品尺寸方面，上海工研院已成功量产17μm和12μm的产品，8μm像元的产品也已完成技术开发，并开始小批量量产。此外，上海工研院还提供从小到大的不同像素超大阵列产品，助力客户提升产品竞争力。