中科微感MEMS氢气传感器性能提升显著

中科微感公司的MEMS氢气传感器在性能上取得了显著的提升。以CM-A107S型号为例，该传感器在晶圆级别实现了万颗批量生产，单颗LGA封装的MEMS氢气传感器初始阻值和响应值一致性偏差已接近5%，良品率接近98%。这一成果将为人工智能嗅觉传感器的普及提供坚实的基础，并为未来的气味数字化应用提供标准化的低成本硬件解决方案。