SAW陀螺仪的制造工艺及测量方案

西北工业大学的研究团队介绍了一种SAW陀螺仪的制造工艺，包括使用MEMS工艺来制造SAW器件。他们还提出了一个测量方案，用于评估SAW陀螺仪的响应特性。