Lam Research推出全球首款量产型脉冲激光沉积机台

Lam Research公司近期推出了全球首款面向量产的脉冲激光沉积(PLD)机台，旨在提升基于MEMS技术的下一代麦克风和射频(RF)滤波器的性能。这款名为Pulsus™ PLD的系统能够提供含钪量更高的掺钪氮化铝(AlScN)薄膜，为消费类和汽车领域的高性能器件铺平了道路。目前，Pulsus™已开始向部分特种MEMS器件制造商发货。