上海工研院在非製冷紅外線探測器技術領域取得突破

近年來，隨著積體電路和微機電系統（MEMS）技術的快速發展，非製冷紅外線焦平面陣列偵測器技術逐漸成熟，系列產品已實現大規模量產。上海工研院專注於超越摩爾積體電路核心製程的研發，自2018年起佈局非製冷紅外線探測器技術。透過多年的技術研究和攻關，成功建立了由標準模組工藝組成的紅外線感測器成套工藝平台。目前，上海工研院已為多家重要客戶提供非製冷紅外線探測器通用製程和客製化製程服務，包括非晶矽和氧化釩（VOx）技術路線，多款產品已進入量產階段，性能表現優異。在產品尺寸方面，上海工研院已成功量產17μm和12μm的產品，8μm像元的產品也已完成技術開發，並開始小批量量產。此外，上海工研院也提供從小到大的不同像素超大陣列產品，協助客戶提升產品競爭力。