上海微系統所異質整合團隊推動國產光電整合晶片與行動終端射頻濾波器晶片發展

近十年來，上海微系統所歐欣研究員所帶領的異質集成團隊集中突破高品質單晶薄膜製備及異質集成共性技術，同時重點佈局基於異質集成材料的5G/6G高頻聲學射頻濾波器、高速整合光子元件及高功率電子元件技術。異質整合團隊孵化的上海新矽聚合半導體有限公司正全力推動異質整合材料關鍵技術的工程化與產業化，為國內相關領域實現自主創新發展奠定了核心異質材料基礎。