8인치 실리콘 웨이퍼에 KNN박막 성공적 집적

일본 스미토모화학(Sumitomo Chemical Corporation)은 최근 대형(8인치) 실리콘 웨이퍼에 KNN 박막을 성공적으로 증착해 우수한 두께 균일성을 달성했다고 발표했다. 이번 성과는 KNN 필름의 상용화에 중요한 지원을 제공하고 압전 MEMS 산업의 요구 사항을 충족하는 데 도움이 됩니다. 또한 프랑스 그르노블 알프스 대학과 렌 1 대학의 연구원들은 8인치 실리콘 웨이퍼 기술 플랫폼에서 산업적으로 호환되는 프로세스를 사용하여 최첨단 KNN 필름을 MEMS 액추에이터 장치에 통합했습니다.