Intégration réussie du film mince KNN sur une plaquette de silicium de 8 pouces

Sumitomo Chemical Corporation du Japon a récemment annoncé avoir déposé avec succès des films minces KNN sur des tranches de silicium de grande taille (8 pouces) et obtenu une bonne uniformité d'épaisseur. Cette réalisation apporte un soutien important à la commercialisation des films KNN et contribue à répondre aux besoins de l'industrie des MEMS piézoélectriques. En outre, des chercheurs de l'Université de Grenoble-Alpes et de l'Université de Rennes 1 en France ont également intégré le film KNN le plus avancé dans des dispositifs d'actionneurs MEMS à l'aide d'un processus industriellement compatible sur une plate-forme technologique de tranches de silicium de 8 pouces.