Integração bem-sucedida de filme fino KNN em wafer de silício de 8 polegadas

A Sumitomo Chemical Corporation do Japão anunciou recentemente que depositou com sucesso filmes finos KNN em wafers de silício de grande porte (8 polegadas) e alcançou boa uniformidade de espessura. Esta conquista fornece um apoio importante para a comercialização de filmes KNN e ajuda a atender às necessidades da indústria piezoelétrica de MEMS. Além disso, pesquisadores da Universidade de Grenoble-Alpes e da Universidade de Rennes 1, na França, também integraram o filme KNN mais avançado em dispositivos atuadores MEMS usando um processo industrialmente compatível em uma plataforma de tecnologia de wafer de silício de 8 polegadas.