Succesvolle integratie van KNN dunne film op 8-inch siliciumwafel

Sumitomo Chemical Corporation uit Japan heeft onlangs aangekondigd dat het met succes dunne KNN-films heeft afgezet op grote (8-inch) siliciumwafels en een goede dikte-uniformiteit heeft bereikt. Deze prestatie biedt belangrijke ondersteuning voor de commercialisering van KNN-films en helpt tegemoet te komen aan de behoeften van de piëzo-elektrische MEMS-industrie. Daarnaast integreerden onderzoekers van de Universiteit van Grenoble-Alpes en de Universiteit van Rennes 1 in Frankrijk ook de meest geavanceerde KNN-film in MEMS-actuatorapparaten met behulp van een industrieel compatibel proces op een 8-inch siliciumwafeltechnologieplatform.