Framgångsrik integration av KNN-tunnfilm på 8-tums kiselskiva

Sumitomo Chemical Corporation i Japan tillkännagav nyligen att de framgångsrikt har deponerat KNN-tunna filmer på stora (8-tums) kiselwafers och uppnått god tjocklekslikformighet. Denna prestation ger viktigt stöd för kommersialiseringen av KNN-filmer och hjälper till att möta behoven hos den piezoelektriska MEMS-industrin. Dessutom integrerade forskare från universitetet i Grenoble-Alpes och universitetet i Rennes 1 i Frankrike också den mest avancerade KNN-filmen i MEMS-manöverdon med hjälp av en industriellt kompatibel process på en 8-tums kiselwafer-teknologiplattform.