Integración exitosa de una película delgada KNN en una oblea de silicio de 8 pulgadas

Sumitomo Chemical Corporation de Japón anunció recientemente que ha depositado con éxito películas delgadas KNN en obleas de silicio de gran tamaño (8 pulgadas) y ha logrado una buena uniformidad de espesor. Este logro proporciona un apoyo importante para la comercialización de películas KNN y ayuda a satisfacer las necesidades de la industria MEMS piezoeléctrica. Además, investigadores de la Universidad de Grenoble-Alpes y la Universidad de Rennes 1 en Francia también integraron la película KNN más avanzada en dispositivos actuadores MEMS utilizando un proceso industrialmente compatible en una plataforma de tecnología de oblea de silicio de 8 pulgadas.