Vellykket integrering av KNN tynnfilm på 8-tommers silisiumplate

Sumitomo Chemical Corporation of Japan kunngjorde nylig at de med suksess har deponert KNN-tynne filmer på store (8-tommers) silisiumskiver og oppnådd god jevnhet i tykkelsen. Denne prestasjonen gir viktig støtte for kommersialiseringen av KNN-filmer og bidrar til å møte behovene til den piezoelektriske MEMS-industrien. I tillegg har forskere fra University of Grenoble-Alpes og University of Rennes 1 i Frankrike også integrert den mest avanserte KNN-filmen i MEMS-aktuatorenheter ved hjelp av en industrielt kompatibel prosess på en 8-tommers silisiumwafer-teknologiplattform.