Integrarea cu succes a filmului subțire KNN pe placă de siliciu de 8 inchi

Sumitomo Chemical Corporation din Japonia a anunțat recent că a depus cu succes pelicule subțiri KNN pe plachete de siliciu de dimensiuni mari (8-inch) și a obținut o uniformitate bună a grosimii. Această realizare oferă un sprijin important pentru comercializarea filmelor KNN și ajută la satisfacerea nevoilor industriei MEMS piezoelectrice. În plus, cercetătorii de la Universitatea Grenoble-Alpes și de la Universitatea Rennes 1 din Franța au integrat, de asemenea, cel mai avansat film KNN în dispozitivele de acționare MEMS, utilizând un proces compatibil industrial pe o platformă tehnologică de plăci de siliciu de 8 inchi.