Veiksmīga KNN plānās plēves integrācija uz 8 collu silīcija plāksnītes

2024-12-23 10:19
 0
Japānas Sumitomo Chemical Corporation nesen paziņoja, ka tā ir veiksmīgi uzklājusi KNN plānās plēves uz liela izmēra (8 collu) silīcija plāksnēm un panākusi labu biezuma viendabīgumu. Šis sasniegums sniedz nozīmīgu atbalstu KNN filmu komercializācijai un palīdz apmierināt pjezoelektriskās MEMS nozares vajadzības. Turklāt pētnieki no Grenobles-Alpu universitātes un Rennes 1 universitātes Francijā arī integrēja vismodernāko KNN plēvi MEMS izpildmehānismos, izmantojot rūpnieciski saderīgu procesu 8 collu silīcija vafeļu tehnoloģiju platformā.