Uspešna integracija tankega filma KNN na 8-palčno silikonsko rezino

Sumitomo Chemical Corporation iz Japonske je nedavno objavila, da je uspešno nanesla tanke filme KNN na velike (8-palčne) silicijeve rezine in dosegla dobro enotnost debeline. Ta dosežek zagotavlja pomembno podporo komercializaciji filmov KNN in pomaga zadovoljiti potrebe industrije piezoelektričnih MEMS. Poleg tega so raziskovalci z Univerze Grenoble-Alpes in Univerze Rennes 1 v Franciji prav tako integrirali najnaprednejši film KNN v aktuatorske naprave MEMS z uporabo industrijsko združljivega procesa na 8-palčni tehnološki platformi silicijevih rezin.