Успешно интегриране на тънък филм KNN върху 8-инчова силиконова пластина

Sumitomo Chemical Corporation от Япония наскоро обяви, че успешно е депозирала KNN тънки филми върху големи (8-инчови) силиконови пластини и е постигнала добра равномерност на дебелината. Това постижение осигурява важна подкрепа за комерсиализацията на KNN филми и помага за посрещане на нуждите на пиезоелектричната MEMS индустрия. В допълнение, изследователи от Университета на Гренобъл-Алпи и Университета на Рен 1 във Франция също интегрираха най-модерния KNN филм в MEMS задвижващи устройства, използвайки индустриално съвместим процес на 8-инчова технологична платформа за силиконова пластина.