Pomyślna integracja cienkiej folii KNN na 8-calowej płytce krzemowej

Firma Sumitomo Chemical Corporation z Japonii ogłosiła niedawno, że z powodzeniem naniosła cienkie warstwy KNN na wielkoformatowe (8-calowe) płytki krzemowe i uzyskała dobrą jednorodność grubości. To osiągnięcie stanowi istotne wsparcie dla komercjalizacji folii KNN i pomaga zaspokoić potrzeby branży piezoelektrycznych MEMS. Ponadto badacze z Uniwersytetu w Grenoble-Alpes i Uniwersytetu w Rennes 1 we Francji również zintegrowali najbardziej zaawansowaną folię KNN z urządzeniami wykonawczymi MEMS, stosując proces zgodny z przemysłem na 8-calowej platformie technologicznej płytek krzemowych.