Úspešná integrácia tenkého filmu KNN na 8-palcový kremíkový plátok

Japonská spoločnosť Sumitomo Chemical Corporation nedávno oznámila, že úspešne uložila tenké filmy KNN na veľké (8-palcové) kremíkové doštičky a dosiahla dobrú rovnomernosť hrúbky. Tento úspech poskytuje dôležitú podporu pre komercializáciu filmov KNN a pomáha uspokojiť potreby piezoelektrického MEMS priemyslu. Okrem toho výskumníci z University of Grenoble-Alpes a University of Rennes 1 vo Francúzsku tiež integrovali najpokročilejší film KNN do mechanizmov akčných členov MEMS pomocou priemyselne kompatibilného procesu na technologickej platforme 8-palcových kremíkových plátkov.