Úspěšná integrace tenkého filmu KNN na 8palcový křemíkový plátek

Japonská společnost Sumitomo Chemical Corporation nedávno oznámila, že úspěšně nanesla tenké filmy KNN na velké (8palcové) křemíkové destičky a dosáhla dobré stejnoměrnosti tloušťky. Tento úspěch poskytuje důležitou podporu pro komercializaci filmů KNN a pomáhá uspokojit potřeby piezoelektrického průmyslu MEMS. Kromě toho vědci z University of Grenoble-Alpes a University of Rennes 1 ve Francii také integrovali nejpokročilejší film KNN do akčního členu MEMS pomocí průmyslově kompatibilního procesu na technologické platformě 8palcových křemíkových plátků.