KNN õhukese kile edukas integreerimine 8-tollisele räniplaadile

2024-12-23 10:19
 0
Jaapani Sumitomo Chemical Corporation teatas hiljuti, et on edukalt kandnud KNN õhukesi kilesid suurtele (8-tollistele) räniplaatidele ja saavutanud hea paksuse ühtluse. See saavutus pakub olulist tuge KNN-i filmide kommertsialiseerimiseks ja aitab rahuldada piesoelektriliste MEMS-i tööstuse vajadusi. Lisaks integreerisid Grenoble-Alpes'i ülikooli ja Prantsusmaa Rennes'i ülikooli 1 teadlased ka kõige arenenuma KNN-kile MEMS-i täiturseadmetesse, kasutades tööstuslikult ühilduvat protsessi 8-tollisel räniplaadi tehnoloogiaplatvormil.