SAWジャイロスコープの製造工程と測定方式

ノースウェスタン工科大学の研究チームは、SAW デバイスの製造に MEMS 技術を使用するなど、SAW ジャイロスコープの製造プロセスを導入しました。また、SAW ジャイロスコープの応答特性を評価するための測定方式も提案しました。