SAW 자이로스코프의 제조 공정 및 측정 방식

Northwestern Polytechnical University의 연구팀은 MEMS 기술을 사용하여 SAW 장치를 제조하는 것을 포함하여 SAW 자이로스코프의 제조 공정을 소개했습니다. 그들은 또한 SAW 자이로스코프의 응답 특성을 평가하기 위한 측정 방식을 제안했습니다.