Herstellungsprozess und Messschema des SAW-Gyroskops

Das Forschungsteam der Northwestern Polytechnical University führte einen Herstellungsprozess für SAW-Gyroskope ein, einschließlich der Verwendung von MEMS-Technologie zur Herstellung von SAW-Geräten. Sie schlugen außerdem ein Messschema zur Bewertung der Reaktionseigenschaften von SAW-Gyroskopen vor.