Processus de fabrication et schéma de mesure du gyroscope SAW

L'équipe de recherche de la Northwestern Polytechnical University a introduit un processus de fabrication pour les gyroscopes SAW, notamment l'utilisation de la technologie MEMS pour fabriquer des dispositifs SAW. Ils ont également proposé un schéma de mesure pour évaluer les caractéristiques de réponse des gyroscopes SAW.