SAW-gyroskoopin valmistusprosessi ja mittauskaavio

0
Northwestern Polytechnical Universityn tutkimusryhmä esitteli SAW-gyroskooppien valmistusprosessin, johon kuuluu MEMS-teknologian käyttö SAW-laitteiden valmistuksessa. He ehdottivat myös mittausjärjestelmää SAW-gyroskooppien vasteominaisuuksien arvioimiseksi.