Procesul de fabricație și schema de măsurare a giroscopului SAW

Echipa de cercetare a Universității Politehnice Northwestern a introdus un proces de fabricație pentru giroscoape SAW, inclusiv utilizarea tehnologiei MEMS pentru fabricarea dispozitivelor SAW. Ei au propus, de asemenea, o schemă de măsurare pentru evaluarea caracteristicilor de răspuns ale giroscoapelor SAW.