A SAW giroszkóp gyártási folyamata és mérési sémája

0
A Northwestern Polytechnical University kutatócsoportja bevezette a SAW giroszkópok gyártási folyamatát, beleértve a MEMS technológiát a SAW eszközök gyártásához. Javasoltak egy mérési sémát is a SAW giroszkópok válaszjellemzőinek értékelésére.