Процес виготовлення та схема вимірювання гіроскопа SAW

0
Дослідницька група Північно-Західного політехнічного університету представила виробничий процес для гіроскопів SAW, включно з використанням технології MEMS для виготовлення пристроїв SAW. Вони також запропонували схему вимірювання для оцінки характеристик відгуку гіроскопів SAW.