Lam Research lansează prima mașină de depunere cu laser pulsată produsă în masă din lume

Lam Research a lansat recent prima mașină de depunere cu laser în impulsuri (PLD) din lume pentru producția de masă, cu scopul de a îmbunătăți performanța microfoanelor de ultimă generație și a filtrelor de radiofrecvență (RF) bazate pe tehnologia MEMS. Sistemul, numit Pulsus™ PLD, furnizează filme cu nitrură de aluminiu dopată cu scandiu (AlScN) cu un conținut mai mare de scandiu, deschizând calea pentru dispozitive de înaltă performanță în aplicații de consum și auto. În prezent, Pulsus™ a început livrarea către unii producători specializați de dispozitive MEMS.