Lam Research უშვებს მსოფლიოში პირველ მასობრივი წარმოების იმპულსური ლაზერული დეპონირების აპარატს

Lam Research-მა ახლახან გამოუშვა მსოფლიოში პირველი იმპულსური ლაზერული დეპონირების მანქანა (PLD) მასობრივი წარმოებისთვის, რომლის მიზანია გააუმჯობესოს შემდეგი თაობის მიკროფონები და რადიოსიხშირული (RF) ფილტრები MEMS ტექნოლოგიაზე დაფუძნებული. სისტემა, სახელწოდებით Pulsus™ PLD, აწვდის სკანდიუმის დოპირებული ალუმინის ნიტრიდის (AlScN) ფილმებს სკანდიუმის მაღალი შემცველობით, რაც გზას უხსნის მაღალი ხარისხის მოწყობილობებს სამომხმარებლო და საავტომობილო აპლიკაციებში. ამჟამად, Pulsus™-მა დაიწყო მიწოდება MEMS მოწყობილობების სპეციალობის მწარმოებლებთან.