晶馳科技碳化矽系列產品介紹

晶馳科技的第二代碳化矽晶片腐蝕清洗設備採用雙工位設計，全封閉工作台和強排風系統有效防止腐蝕性鹼蒸氣對操作人員的身體傷害。該系統集SiC晶片熱強鹼腐蝕、快速清洗、再次超音波清洗和晶片烘乾為一體，充分避免了操作人員與腐蝕性強鹼溶劑的接觸。