Jingchi Technology 炭化ケイ素シリーズ製品のご紹介

Jingchi Technology の第 2 世代炭化ケイ素ウェーハ腐食洗浄装置は、デュアルステーション設計、完全密閉型作業台、強力な排気システムを採用しており、腐食性アルカリ蒸気によるオペレーターへの身体的危害を効果的に防止します。このシステムは、SiC ウェーハの高温および強アルカリによる腐食、急速洗浄、超音波洗浄、ウェーハ乾燥を統合しており、オペレータと腐食性強アルカリ溶剤との接触を完全に回避します。