Introduction aux produits de la série en carbure de silicium Jingchi Technology

L'équipement de nettoyage contre la corrosion des plaquettes de carbure de silicium de deuxième génération de Jingchi Technology adopte une conception à deux stations, un établi entièrement fermé et un système d'échappement solide pour empêcher efficacement les vapeurs alcalines corrosives de causer des dommages physiques aux opérateurs. Le système intègre une corrosion alcaline chaude et forte des plaquettes SiC, un nettoyage rapide, un nettoyage par ultrasons et un séchage des plaquettes, évitant ainsi tout contact entre les opérateurs et les solvants alcalins forts corrosifs.