Northern Huachuang выпускает 8-дюймовые эпитаксиальные изделия из карбида кремния

Компания Northern Huachuang выпустила 8-дюймовую продукцию в области оборудования для эпитаксии карбида кремния. На основе 8-дюймовой подложки компания провела независимые исследования, разработки и отладку оборудования для эпитаксиального выращивания 8-дюймового монолитного карбида кремния. Однородность толщины эпитаксии находится в пределах 1,5%, а однородность легирования - в пределах 4%. достигла ведущего в отрасли уровня.