Axcelis iegūst pasūtījumu no Japānas barošanas ierīču ražotāja, lai piegādātu Purion EXE™ SiC augstas enerģijas jonu implantatoru

Axcelis paziņoja par Purion EXE™ SiC augstas enerģijas jonu implantatora piegādi Japānas vadošajam jaudas ierīču mikroshēmu ražotājam un Purion H200™ SiC jonu implantatora slēgtās cilpas novērtēšanas pabeigšanu. Šīs iekārtas tiks izmantotas 150 mm un SiC jonu implantatora ražošanai 200 mm silīcija karbīda barošanas ierīces.