Axcelis giành được đơn đặt hàng từ nhà sản xuất thiết bị điện Nhật Bản để cung cấp máy cấy ion năng lượng cao Purion EXE™ SiC

Axcelis đã công bố việc giao máy cấy ion năng lượng cao Purion EXE™ SiC cho nhà sản xuất chip thiết bị điện hàng đầu của Nhật Bản và hoàn thành vòng khép kín đánh giá của máy cấy ion Purion H200™ SiC. Các thiết bị này sẽ được sử dụng để sản xuất 150 mm trở lên. Thiết bị điện cacbua silic 200mm.