Axcelis ຊະນະການສັ່ງຊື້ຈາກຜູ້ຜະລິດອຸປະກອນພະລັງງານຂອງຍີ່ປຸ່ນເພື່ອສົ່ງ implanter ion ພະລັງງານສູງ Purion EXE™ SiC

Axcelis ປະກາດການຈັດສົ່ງຂອງ implanter ion ພະລັງງານສູງ Purion EXE™ SiC ໃຫ້ແກ່ຜູ້ຜະລິດ chip ອຸປະກອນພະລັງງານຊັ້ນນໍາຂອງຍີ່ປຸ່ນແລະການສໍາເລັດການປະເມີນຜົນປິດ loop ຂອງ Purion H200™ SiC ion implanter ອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ຈະຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຜະລິດ 150mm ແລະ ອຸປະກອນພະລັງງານ silicon carbide 200mm.