Axcelis memenangi tempahan daripada pengeluar peranti kuasa Jepun untuk menghantar implan ion tenaga tinggi Purion EXE™ SiC
150mm
200mm
H20
H200
nila
gelung
gelung tertutup
tertutup
cip
Peranti
tinggi
implanter ion
kuasa
Jepun
Jepun
Peranti
lata
SiC
2024-12-24 19:27
85
Axcelis mengumumkan penghantaran implanter ion tenaga tinggi Purion EXE™ SiC kepada pengeluar cip peranti kuasa terkemuka Jepun dan penyiapan gelung tertutup penilaian implanter ion Purion H200™ Peralatan ini akan digunakan untuk pengeluaran 150mm dan Peranti kuasa silikon karbida 200mm.
