Axcelis向全球領先碳化矽功率元件製造商交付多批離子注入器

4月17日，半導體離子注入設備供應商Axcelis宣佈為全球領先的碳化矽（SiC）功率元件製造商交付多批Purion Power系統離子注入器。這些設備包括Purion H200 SiC大電流、Purion XE SiC高能量和Purion M SiC中電流注入機，並在第一季完成出貨。這些6吋（150mm）和8吋（200mm）設備將用於支援汽車、工業、能源和其他電力密集應用的功率元件的大量生產。