Axcelis нь дэлхийн тэргүүлэгч цахиур карбидын цахилгаан төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдэд олон багц ион суулгац нийлүүлдэг.

0
Дөрөвдүгээр сарын 17-нд хагас дамжуулагч ион суулгацын тоног төхөөрөмж нийлүүлэгч Axcelis компани цахиурын карбидын (SiC) эрчим хүчний төхөөрөмж үйлдвэрлэлээрээ дэлхийд тэргүүлэгч Purion Power системийн ион суулгацын олон багцыг нийлүүлж байгаагаа зарлав. Эдгээр төхөөрөмжүүдэд Purion H200 SiC өндөр гүйдэл, Purion XE SiC өндөр энерги болон Purion M SiC дунд гүйдлийн форсункууд багтсан бөгөөд эхний улиралд тээвэрлэгдсэн. Эдгээр 6 инч (150мм) ба 8 инч (200мм) төхөөрөмжүүд нь автомашин, аж үйлдвэр, эрчим хүч болон бусад эрчим хүч их зарцуулдаг хэрэглээний эрчим хүчний төхөөрөмжүүдийн өндөр хэмжээний үйлдвэрлэлийг дэмжихэд ашиглагдана.