Axcelis liefert mehrere Chargen von Ionenimplantern an den weltweit führenden Hersteller von Siliziumkarbid-Leistungsgeräten

Am 17. April gab der Anbieter von Halbleiter-Ionenimplantationsgeräten Axcelis die Lieferung mehrerer Chargen von Purion Power-System-Ionenimplantationsgeräten an den weltweit führenden Hersteller von Siliziumkarbid (SiC)-Leistungsgeräten bekannt. Zu diesen Geräten gehören Purion H200 SiC-Hochstrom-, Purion XE SiC-Hochenergie- und Purion M SiC-Mittelstrom-Injektoren und wurden im ersten Quartal ausgeliefert. Diese 6 Zoll (150 mm) und 8 Zoll (200 mm) großen Geräte werden zur Unterstützung der Massenproduktion von Leistungsgeräten für Automobil-, Industrie-, Energie- und andere energieintensive Anwendungen eingesetzt.