Axcelis levererar flera partier av jonimplantatörer till världens ledande tillverkare av kraftenheter i kiselkarbid

Den 17 april meddelade leverantören av halvledarjonimplantationsutrustning Axcelis leveransen av flera partier av Purion Power-systemjonimplantatörer till världens ledande tillverkare av kiselkarbid (SiC) kraftenheter. Dessa enheter inkluderar Purion H200 SiC högströms, Purion XE SiC högenergiinjektorer och Purion M SiC medelströmsinjektorer, och levererades under första kvartalet. Dessa 6-tums (150 mm) och 8-tums (200 mm) enheter kommer att användas för att stödja högvolymproduktion av kraftenheter för bil-, industri-, energi- och andra kraftintensiva tillämpningar.