Axcelis поставляет несколько партий ионных имплантаторов ведущему мировому производителю силовых устройств из карбида кремния.

0
17 апреля поставщик оборудования для ионной имплантации полупроводников Axcelis объявил о поставке нескольких партий ионных имплантаторов системы Purion Power ведущему мировому производителю силовых устройств из карбида кремния (SiC). Эти устройства включают инжекторы Purion H200 SiC для высоких токов, Purion XE SiC для высоких энергий и Purion M SiC для инжекторов среднего тока. Они были отгружены в первом квартале. Эти 6-дюймовые (150 мм) и 8-дюймовые (200 мм) устройства будут использоваться для поддержки крупносерийного производства силовых устройств для автомобильной, промышленной, энергетической и других энергоемких применений.