Axcelis dodává několik šarží iontových implantátorů přednímu světovému výrobci energetických zařízení z karbidu křemíku

0
Dne 17. dubna oznámil dodavatel zařízení pro implantaci polovodičových iontů Axcelis dodávku několika šarží iontových implantátorů systému Purion Power přednímu světovému výrobci energetických zařízení z karbidu křemíku (SiC). Tato zařízení zahrnují vysokoproudé vstřikovače Purion H200 SiC, vysokoenergetické vstřikovače Purion XE SiC a Purion M SiC se středním proudem a byly dodány v prvním čtvrtletí. Tato 6palcová (150mm) a 8palcová (200mm) zařízení budou použita k podpoře velkoobjemové výroby energetických zařízení pro automobilový průmysl, průmysl, energetiku a další energeticky náročné aplikace.