Axcelis isporučuje više serija ionskih implantatora vodećem svjetskom proizvođaču uređaja za napajanje od silicij karbida

0
Dana 17. travnja, dobavljač opreme za ionsku implantaciju poluvodiča Axcelis najavio je isporuku više serija ionskih implantatora sustava Purion Power vodećem svjetskom proizvođaču energetskih uređaja od silicij karbida (SiC). Ovi uređaji uključuju Purion H200 SiC visoke struje, Purion XE SiC visoke energije i Purion M SiC srednje strujne injektore, a isporučeni su u prvom kvartalu. Ovi uređaji od 6 inča (150 mm) i 8 inča (200 mm) koristit će se za podršku masovne proizvodnje energetskih uređaja za automobilsku, industrijsku, energetsku i druge aplikacije koje zahtijevaju veliku količinu energije.