Axcelis cung cấp nhiều lô thiết bị cấy ion cho nhà sản xuất thiết bị điện cacbua silic hàng đầu thế giới

Vào ngày 17 tháng 4, nhà cung cấp thiết bị cấy ion bán dẫn Axcelis đã công bố giao nhiều lô máy cấy ion của hệ thống Purion Power cho nhà sản xuất thiết bị điện silicon cacbua (SiC) hàng đầu thế giới. Các thiết bị này bao gồm kim phun dòng điện cao Purion H200 SiC, kim phun dòng điện trung bình Purion XE SiC và kim phun dòng điện trung bình Purion M SiC, và đã được xuất xưởng trong quý đầu tiên. Các thiết bị 6 inch (150mm) và 8 inch (200mm) này sẽ được sử dụng để hỗ trợ sản xuất số lượng lớn các thiết bị điện cho ô tô, công nghiệp, năng lượng và các ứng dụng sử dụng nhiều năng lượng khác.