インテルと ASML の協力の歴史

インテルは ASML と協力して EUV リソグラフィー マシン技術を開発しました。 IntelはASMLの筆頭株主になるために41億米ドルを投資したが、EUVリソグラフィー装置の量産初期段階では重要な技術的問題を理由に装置を購入しなかった。