Историја сарадње између Интела и АСМЛ-а

Интел је сарађивао са АСМЛ-ом на развоју технологије ЕУВ литографских машина. Иако је Интел уложио 4,1 милијарду долара да би постао највећи акционар АСМЛ-а, у раним фазама масовне производње ЕУВ литографских машина, Интел није купио опрему због кључних техничких проблема.