Zgodovina sodelovanja med Intelom in ASML

Intel je sodeloval z ASML pri razvoju EUV litografske strojne tehnologije. Čeprav je Intel vložil 4,1 milijarde ameriških dolarjev, da bi postal največji delničar ASML, v zgodnjih fazah množične proizvodnje EUV litografskih strojev Intel ni kupil opreme zaradi ključnih tehničnih težav.